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[發明專利]薄型絕緣半導體之絕緣間隙壁無效

專利信息
申請號: 200510070764.9 申請日: 2005-05-18
公開(公告)號: CN1763970A 公開(公告)日: 2006-04-26
發明(設計)人: 柯志欣;李文欽;楊育佳;葛崇祜 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L27/12
代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 代理人: 王永紅
地址: 臺灣省新竹市新竹*** 國省代碼: 中國臺灣;71
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摘要:
搜索關鍵詞: 絕緣 半導體 間隙
【權利要求書】:
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