[發明專利]正性抗蝕劑組合物與抗蝕劑圖案形成方法無效
| 申請號： | 200510070085.1 | 申請日： | 2005-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN1696831A | 公開（公告）日： | 2005-11-16 |
| 發明（設計）人： | 米村幸治;中緒卓 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳長會 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 正性抗蝕劑 組合 抗蝕劑 圖案 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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