[發(fā)明專利]基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的二維靜電振鏡及其制作方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510069314.8 | 申請日： | 2005-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN1693937A | 公開（公告）日： | 2005-11-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李凌 | 申請（專利權）人： | 李凌 |
| 主分類號： | G02B26/10 | 分類號： | G02B26/10;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100062北京市崇*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 微機 系統(tǒng) mems 二維 靜電 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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