[發(fā)明專利]顯影方法與顯影設備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510068277.9 | 申請日： | 2005-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN1858649A | 公開（公告）日： | 2006-11-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 詹勛凱;劉大有 | 申請（專利權）人： | 中華映管股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人： | 王永紅 |
| 地址： | 臺灣省臺北*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
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