[發(fā)明專利]集成電路以及形成用于晶體管柵電極的隔離層的方法無效

申請?zhí)枺?/td>	200510067824.1	申請日：	2005-04-26
公開（公告）號：	CN1700472A	公開（公告）日：	2005-11-23
發(fā)明（設(shè)計）人：	M·P·別良斯基;J·C·劉;萬幸仁;R·S·懷斯;閻紅雯	申請（專利權(quán)）人：	國際商業(yè)機(jī)器公司
主分類號：	H01L27/088	分類號：	H01L27/088;H01L27/105;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8234
代理公司：	北京市中咨律師事務(wù)所	代理人：	于靜;李崢
地址：	美國***	國省代碼：	美國;US
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	集成電路以及形成用于晶體管電極隔離方法
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專利分類

H 電學(xué)

H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的；包括有熱磁組件的

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