[發明專利]照明光學系、曝光裝置、及器件制造方法無效
| 申請號： | 200510065013.8 | 申請日： | 2005-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN1690861A | 公開（公告）日： | 2005-11-02 |
| 發明（設計）人： | 森堅一郎 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027;G02B27/28 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 許海蘭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 明光 學系 曝光 裝置 器件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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