[發明專利]正型抗蝕劑組合物有效
| 申請號： | 200510062425.6 | 申請日： | 2005-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN1677234A | 公開（公告）日： | 2005-10-05 |
| 發明（設計）人： | 川名大助;山田知孝;細野隆之;田村弘毅 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 正型抗蝕劑 組合 | ||
【說明書】：
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