[發明專利]拋光用組合物及拋光方法有效
| 申請號： | 200510062406.3 | 申請日： | 2005-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN1837320A | 公開（公告）日： | 2006-09-27 |
| 發明（設計）人： | 吳俊輝;河村篤紀;松田剛;平野達彥;酒井謙兒;堀和伸 | 申請（專利權）人： | 福吉米株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 | 代理人： | 徐申民;董紅曼 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 組合 方法 | ||
【權利要求書】：
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