[發明專利]數字式光學膜厚控制儀有效
| 申請號： | 200510061564.7 | 申請日： | 2005-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN1786740A | 公開（公告）日： | 2006-06-14 |
| 發明（設計）人： | 鄭睿敏;鄭睿韜;趙志躍 | 申請（專利權）人： | 鄭睿敏;鄭睿韜 |
| 主分類號： | G02B1/10 | 分類號： | G02B1/10;G05B15/00;G05B19/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 杭州天欣專利事務所 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 310012浙江省杭州市西湖*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 數字式 光學 控制 | ||
【說明書】：
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