[發(fā)明專利]形成圖形的柵單元偏振器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510060055.2 | 申請(qǐng)日： | 2005-03-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1677141A | 公開（公告）日： | 2005-10-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邁克爾·M·阿爾博特;哈利·塞維爾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G02B5/30 | 分類號(hào)： | G02B5/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 蔣世迅 |
| 地址： | 荷蘭費(fèi)*** | 國(guó)省代碼： | 荷蘭;NL |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 形成 圖形 單元 偏振 | ||
【說(shuō)明書】：
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