[發明專利]一種采用激光對SU－8膠曝光光刻的方法及其裝置無效
| 申請號： | 200510055286.4 | 申請日： | 2005-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN1664705A | 公開（公告）日： | 2005-09-07 |
| 發明（設計）人： | 劉世炳;路亮;劉院省;陳繼民;陳濤 | 申請（專利權）人： | 北京工業大學 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京思海天達知識產權代理有限公司 | 代理人： | 張慧 |
| 地址： | 100022*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 采用 激光 su 曝光 光刻 方法 及其 裝置 | ||
【權利要求書】：
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