[發明專利]具有薄膜晶體管的半導體器件的制造方法無效
| 申請號： | 200510054405.4 | 申請日： | 1994-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN1652351A | 公開（公告）日： | 2005-08-10 |
| 發明（設計）人： | 小沼利光;菅原彰;上原由起子;張宏勇;鈴木敦則;大沼英人;山口直明;須澤英臣;魚地秀貴;竹村保彥 | 申請（專利權）人： | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/00;H01L21/82 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 葉愷東 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 薄膜晶體管 半導體器件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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