[發明專利]研磨墊及其制造方法和研磨墊用緩沖層有效
| 申請號： | 200510054378.0 | 申請日： | 2001-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN1669739A | 公開（公告）日： | 2005-09-21 |
| 發明（設計）人： | 小野浩一;下村哲生;中森雅彥;山田孝敏;駒井茂;堤正幸 | 申請（專利權）人： | 東洋橡膠工業株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24D3/32;H01L21/304;B24B7/24 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 及其 制造 方法 緩沖 | ||
【權利要求書】：
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