[發明專利]用于汽化材料的裝置無效
| 申請號: | 200510051962.0 | 申請日: | 2005-02-23 |
| 公開(公告)號: | CN1776007A | 公開(公告)日: | 2006-05-24 |
| 發明(設計)人: | 斯蒂芬·海因;岡特·克萊姆;彼得·斯庫克 | 申請(專利權)人: | 應用薄膜兩合公司 |
| 主分類號: | C23C14/56 | 分類號: | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人: | 王景剛;李瑞海 |
| 地址: | 德國阿*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 汽化 材料 裝置 | ||
【說明書】:
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