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[發明專利]熱驅動微型電場傳感器有效

專利信息
申請號: 200510051260.2 申請日: 2005-03-03
公開(公告)號: CN1828317A 公開(公告)日: 2006-09-06
發明(設計)人: 夏善紅;陳賢祥;白強;陳紹鳳 申請(專利權)人: 中國科學院電子學研究所
主分類號: G01R29/12 分類號: G01R29/12;G01R29/00
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 周國城
地址: 100080北*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 驅動 微型 電場 傳感器
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖

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