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[發(fā)明專利]用于鉬的化學(xué)蝕刻溶液無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200510044853.6 申請(qǐng)日: 2005-09-21
公開(kāi)(公告)號(hào): CN1743509A 公開(kāi)(公告)日: 2006-03-08
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 徐海波;王佳;王偉;姜應(yīng)律;王燕華 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中國(guó)海洋大學(xué)
主分類號(hào): C23F1/26 分類號(hào): C23F1/26
代理公司: 青島海昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所有限公司 代理人: 崔清晨
地址: 266003山*** 國(guó)省代碼: 山東;37
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 化學(xué) 蝕刻 溶液
【權(quán)利要求書(shū)】:
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