[發明專利]激光微影裝置無效
| 申請號： | 200510036903.6 | 申請日： | 2005-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN1920669A | 公開（公告）日： | 2007-02-28 |
| 發明（設計）人： | 林志泉 | 申請（專利權）人： | 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02B27/60;G02B27/10;H01L21/027 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518109廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 裝置 | ||
【權利要求書】：
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