[發明專利]一種高速晶圓允收測試方法無效
| 申請號： | 200510030551.3 | 申請日： | 2005-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN1948981A | 公開（公告）日： | 2007-04-18 |
| 發明（設計）人： | 胡曉明;徐向明 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 | 代理人： | 丁紀鐵 |
| 地址： | 201206上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高速 晶圓允收 測試 方法 | ||
【權利要求書】：
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