[發明專利]基于微機電系統的射頻螺線管微電感的制作方法無效
| 申請號： | 200510029318.3 | 申請日： | 2005-09-01 |
| 公開（公告）號： | CN1767098A | 公開（公告）日： | 2006-05-03 |
| 發明（設計）人： | 周勇;王西寧;趙小林;曹瑩;高孝裕 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | H01F41/00 | 分類號： | H01F41/00;H01L21/02;B81B1/00 |
| 代理公司： | 上海交達專利事務所 | 代理人： | 王錫麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 微機 系統 射頻 螺線管 電感 制作方法 | ||
【說明書】：
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