[發明專利]磷化銦基量子級聯激光器原子層尺度外延材料質量控制方法有效
| 申請號： | 200510029274.4 | 申請日： | 2005-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN1731637A | 公開（公告）日： | 2006-02-08 |
| 發明（設計）人： | 李愛珍;林春;李華;李存才;胡建;顧溢;張永剛;徐剛毅 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | H01S5/30 | 分類號： | H01S5/30;H01S5/323;H01S5/343;H01S5/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磷化 量子 級聯 激光器 原子 尺度 外延 材料 質量 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
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