[發明專利]一種基片濕處理過程中化學液加熱方法及裝置無效
| 申請號： | 200510026311.6 | 申請日： | 2005-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN1873342A | 公開（公告）日： | 2006-12-06 |
| 發明（設計）人： | 倪黨生 | 申請（專利權）人： | 倪黨生;倪朝宰;葉曲波 |
| 主分類號： | F24H1/18 | 分類號： | F24H1/18;H05B6/46;F24H9/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201824上海市梅*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基片濕 處理 過程 化學 加熱 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
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