[發明專利]用于投影光刻機的調焦調平傳感器有效
| 申請號： | 200510025793.3 | 申請日： | 2005-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN1700101A | 公開（公告）日： | 2005-11-23 |
| 發明（設計）人： | 胡建明;王向朝;曾愛軍 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/207 | 分類號： | G03F7/207 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 投影 光刻 調焦 傳感器 | ||
【說明書】：
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