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[發(fā)明專利]光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200510024987.1 申請(qǐng)日: 2005-04-08
公開(公告)號(hào): CN1707307A 公開(公告)日: 2005-12-14
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 朱美萍;易葵;郭世海;邵建達(dá);王丹;申雁鳴;傅小勇;畢軍 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
主分類號(hào): G02B27/00 分類號(hào): G02B27/00;G01B11/06;C23C14/52;C23C14/54
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 代理人: 張澤純
地址: 201800上*** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 光學(xué) 監(jiān)控 系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:
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專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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