[發明專利]光激活納米氧化物半導體氣敏傳感器無效
| 申請號： | 200510023643.9 | 申請日： | 2005-01-27 |
| 公開（公告）號： | CN1645120A | 公開（公告）日： | 2005-07-27 |
| 發明（設計）人： | 惠春;孫建平;徐愛蘭 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | G01N27/04 | 分類號： | G01N27/04;G01N27/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 上海交達專利事務所 | 代理人： | 毛翠瑩 |
| 地址： | 200240*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激活 納米 氧化物 半導體 傳感器 | ||
【權利要求書】：
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