[發明專利]具有應力限制層的位移型鐵電超晶格薄膜材料及其制備方法無效
| 申請號： | 200510020476.2 | 申請日： | 2005-03-08 |
| 公開（公告）號： | CN1831184A | 公開（公告）日： | 2006-09-13 |
| 發明（設計）人： | 李燕;鄧宏;姜斌;郝蘭眾;張鷹 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610054四川省成都*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 應力 限制 位移 型鐵電超 晶格 薄膜 材料 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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