[發明專利]制備微晶硅的方法無效
| 申請號： | 200510016606.5 | 申請日： | 2005-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN1727526A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發明（設計）人： | 黃金英;付國柱;荊海;凌志華 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B28/02;H01L21/34 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人： | 李恩慶 |
| 地址： | 130031吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 微晶硅 方法 | ||
【說明書】：
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