[發明專利]一種單光柵位移傳感器無效
| 申請號： | 200510012552.5 | 申請日： | 2005-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN1712904A | 公開（公告）日： | 2005-12-28 |
| 發明（設計）人： | 武少文;董有爾;楊保東;李秀平 | 申請（專利權）人： | 山西大學 |
| 主分類號： | G01D5/38 | 分類號： | G01D5/38;G01D5/26;G01B11/02 |
| 代理公司： | 山西五維專利事務所有限公司 | 代理人： | 楊耀田 |
| 地址： | 030006*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光柵 位移 傳感器 | ||
【權利要求書】：
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