[發明專利]正支共焦非穩腔腔內像差探測系統及調腔方法無效
| 申請號： | 200510011491.0 | 申請日： | 2005-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN1664515A | 公開（公告）日： | 2005-09-07 |
| 發明（設計）人： | 張翔;許冰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G01J1/02 | 分類號： | G01J1/02;G01J9/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 劉秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 正支共焦非穩腔腔內像差 探測 系統 方法 | ||
【說明書】：
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