[發(fā)明專利]超精密工作臺(tái)自標(biāo)定方法及裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510011385.2 | 申請(qǐng)日： | 2005-03-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1667359A | 公開（公告）日： | 2005-09-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 汪勁松;朱煜;朱立偉;尹文生;段廣洪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué);上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B21/04 | 分類號(hào)： | G01B21/04;G06F17/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100084北京*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 精密 工作臺(tái) 標(biāo)定 方法 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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