[發(fā)明專利]基于Talbot干涉儀的掃描式光柵寫入法及掃描式Talbot干涉儀無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510010888.8 | 申請日: | 2005-06-30 |
| 公開(公告)號: | CN1725042A | 公開(公告)日: | 2006-01-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李川 | 申請(專利權(quán))人: | 昆明理工大學(xué) |
| 主分類號: | G02B5/18 | 分類號: | G02B5/18 |
| 代理公司: | 昆明正原專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 賽曉剛 |
| 地址: | 650051云南*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基于 talbot 干涉儀 掃描 光柵 寫入 | ||
【權(quán)利要求書】:
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