[發明專利]薄膜聲表面波器件的非晶金剛石增頻襯底及其制備方法無效
| 申請號： | 200510010409.2 | 申請日： | 2005-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN1750392A | 公開（公告）日： | 2006-03-22 |
| 發明（設計）人： | 朱嘉琦;韓杰才;韓瀟;程坤;楊瑾 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 | 代理人： | 王吉東 |
| 地址： | 150001黑龍江*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 表面波 器件 金剛石 襯底 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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