[發明專利]宏／微雙重驅動的大行程高速納米級精度的平面定位系統有效
| 申請號： | 200510010286.2 | 申請日： | 2005-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN1731081A | 公開（公告）日： | 2006-02-08 |
| 發明（設計）人： | 孫立寧;劉延杰;節德剛;榮偉彬;曲東升 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01B21/02 | 分類號： | G01B21/02;G01B11/02;G01B5/02 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 | 代理人： | 劉同恩 |
| 地址： | 150001黑龍江*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙重 驅動 行程 高速 納米 精度 平面 定位 系統 | ||
【權利要求書】：
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