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[發明專利]微懸臂梁諧振式酞菁鋅薄膜氣體傳感器及其制備方法無效

專利信息
申請號: 200510010248.7 申請日: 2005-08-05
公開(公告)號: CN1719240A 公開(公告)日: 2006-01-11
發明(設計)人: 邱成軍;左霞;卜丹;穆長生;安旭 申請(專利權)人: 黑龍江大學
主分類號: G01N27/12 分類號: G01N27/12;B81C1/00
代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 代理人: 岳泉清
地址: 150080黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 懸臂梁 諧振 式酞菁鋅 薄膜 氣體 傳感器 及其 制備 方法
【說明書】:
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