[發(fā)明專利]離子束監(jiān)測裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510000186.1 | 申請日： | 2005-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN1638014A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發(fā)明（設計）人： | A·J·默雷爾;B·哈理森;P·愛德華茲;P·坎德斯利;R·米切爾;T·H·斯米克;G·萊丁;M·法利;T·伊藤忠 | 申請（專利權）人： | 應用材料有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J27/00;H01L21/265;H01L21/425;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子束 監(jiān)測 裝置 | ||
【說明書】：
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