[發明專利]光致抗蝕劑組合物有效
| 申請號： | 200480026729.0 | 申請日： | 2004-10-07 |
| 公開（公告）號： | CN1853138A | 公開（公告）日： | 2006-10-25 |
| 發明（設計）人： | 保坂將毅;本間正敏 | 申請（專利權）人： | 株式會社ADEKA |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光致抗蝕劑 組合 | ||
【說明書】：
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