[發明專利]用于化學機械平面化的材料和方法無效
| 申請號： | 200480010300.2 | 申請日： | 2004-02-19 |
| 公開（公告）號： | CN1774316A | 公開（公告）日： | 2006-05-17 |
| 發明（設計）人： | S·巴里耶帕利;D·J·奧爾德里奇;L·A·格里爾 | 申請（專利權）人： | 陶氏環球技術公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 程偉;王初 |
| 地址： | 美國密*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 化學 機械 平面化 材料 方法 | ||
【說明書】：
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