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[實(shí)用新型]超高真空閘板閥密封裝置無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200420120797.0 申請(qǐng)日: 2004-12-31
公開(kāi)(公告)號(hào): CN2761924Y 公開(kāi)(公告)日: 2006-03-01
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張振厚;張寧;袁亮;王光玉;鄭帥;何義;佟雷;王宏宇 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司
主分類號(hào): F16K3/02 分類號(hào): F16K3/02
代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人: 許宗富;周秀梅
地址: 110004遼*** 國(guó)省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 超高 真空 閘板 密封 裝置
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