[實用新型]用于離子源重金屬離子引出的坩堝蒸發器無效
| 申請號： | 200420120109.0 | 申請日： | 2004-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN2787677Y | 公開（公告）日： | 2006-06-14 |
| 發明（設計）人： | 戴習毛 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/28 | 分類號： | C23C14/28;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知識產權代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀區復興路*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 離子源 重金屬 離子 引出 坩堝 蒸發器 | ||
【權利要求書】：
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