[實用新型]濺鍍機陰極靶源結構無效
| 申請號： | 200420066879.1 | 申請日： | 2004-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN2736369Y | 公開（公告）日： | 2005-10-26 |
| 發明（設計）人： | 蔡俊毅 | 申請（專利權）人： | 蔡俊毅 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京申翔知識產權代理有限公司 | 代理人： | 周春發 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺鍍機 陰極 結構 | ||
【權利要求書】：
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