[實用新型]輝光離子氮化爐真空爐體壓力閉環自動控制裝置無效
| 申請號： | 200420064865.6 | 申請日： | 2004-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN2703005Y | 公開（公告）日： | 2005-06-01 |
| 發明（設計）人： | 黃健 | 申請（專利權）人： | 黃健 |
| 主分類號： | C23C8/36 | 分類號： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 武漢開元專利代理有限責任公司 | 代理人： | 陳家安 |
| 地址： | 430040湖北省武漢市東西湖區*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輝光 離子 氮化 真空爐 壓力 閉環 自動控制 裝置 | ||
【權利要求書】：
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