[實用新型]高分辨力微光學灰度掩模制作裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200420022037.6 | 申請日： | 2004-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN2700908Y | 公開（公告）日： | 2005-05-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 漆新民;高益慶;諶廷政;呂海寶;羅武勝;朱小進;楚興春;龔勇清;陳勁松 | 申請（專利權(quán)）人： | 南昌航空工業(yè)學院;中國人民解放軍國防科學技術(shù)大學 |
| 主分類號： | G02F1/00 | 分類號： | G02F1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 江西省專利事務(wù)所 | 代理人： | 張靜;張文 |
| 地址： | 330034江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 分辨力 微光 灰度 制作 裝置 | ||
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G02 光學
G02F 用于控制光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學；光學
G02F1-00 控制來自獨立光源的光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學
G02F1-01 .對強度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
G02F 用于控制光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學；光學
G02F1-00 控制來自獨立光源的光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學
G02F1-01 .對強度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
