[發明專利]大尺寸砷化鎵單晶結構的缺陷檢測方法無效
| 申請號： | 200410102571.2 | 申請日： | 2004-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN1796968A | 公開（公告）日： | 2006-07-05 |
| 發明（設計）人： | 周智慧;章安輝;王香泉 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | G01N1/32 | 分類號： | G01N1/32;G01N21/88 |
| 代理公司： | 信息產業部電子專利中心 | 代理人： | 楊樹芬 |
| 地址： | 300220天*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 尺寸 砷化鎵單晶 結構 缺陷 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
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