[發明專利]圖案形成裝置和使用其制造連續圖案的方法有效
| 申請號： | 200410102292.6 | 申請日： | 2004-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN1637617A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發明（設計）人： | 樸錫澔;崔永俊;吳鉉錫;林在夏;鄭皙元 | 申請（專利權）人： | LG電子株式會社;韓國電子部品研究院 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 裝置 使用 制造 連續 方法 | ||
【說明書】：
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