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[發明專利]一種基于微納組合結構的力傳感器無效

專利信息
申請號: 200410101600.3 申請日: 2004-12-24
公開(公告)號: CN1796952A 公開(公告)日: 2006-07-05
發明(設計)人: 周兆英;朱榮;王鼎渠;葉雄英 申請(專利權)人: 清華大學
主分類號: G01L1/00 分類號: G01L1/00;G01L1/10;G01L1/16;G01L1/18;B81B3/00;B82B1/00
代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 代理人: 高存秀
地址: 100084*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 組合 結構 傳感器
【說明書】:
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