[發明專利]曝光裝置的照度不勻度的測定方法和修正方法無效
| 申請號： | 200410101124.5 | 申請日： | 2002-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN1624590A | 公開（公告）日： | 2005-06-08 |
| 發明（設計）人： | 佐藤和也;井上壯一;田中聰 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 許海蘭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 照度 不勻度 測定 方法 修正 | ||
【權利要求書】：
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