[發(fā)明專利]研磨方法和研磨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410097489.5 | 申請日： | 2001-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN1628934A | 公開（公告）日： | 2005-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 法利信幸 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 錢慰民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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