[發明專利]有機抗反射涂覆組合物及用其形成光阻圖案的方法有效
| 申請號： | 200410095699.0 | 申請日： | 2004-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN1652026A | 公開（公告）日： | 2005-08-10 |
| 發明（設計）人： | 鄭傤昌 | 申請（專利權）人： | 海力士半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 張平元;趙仁臨 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 有機 反射 組合 形成 圖案 方法 | ||
【權利要求書】：
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