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[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效

專利信息
申請號: 200410094977.0 申請日: 2004-11-19
公開(公告)號: CN1619821A 公開(公告)日: 2005-05-25
發明(設計)人: 矢野尚 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: H01L27/108 分類號: H01L27/108;H01L21/8242;H01L21/31;H01L21/28
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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