[發明專利]制備電子顯微鏡檢測樣品用的夾具有效
| 申請號： | 200410093464.8 | 申請日： | 2004-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN1796967A | 公開（公告）日： | 2006-07-05 |
| 發明（設計）人： | 郭志蓉;秦天;廖炳隆;董偉淳 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/32 | 分類號： | G01N1/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海新高專利商標代理有限公司 | 代理人： | 樓仙英 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 電子顯微鏡 檢測 樣品 夾具 | ||
【說明書】：
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