[發(fā)明專利]襯底搬進搬出裝置和方法及襯底搬送裝置和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410090520.2 | 申請日： | 2004-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN1600658A | 公開（公告）日： | 2005-03-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 北澤保良 | 申請（專利權(quán)）人： | 神鋼電機株式會社 |
| 主分類號： | B65G49/00 | 分類號： | B65G49/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 李貴亮;楊梧 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 襯底 搬進 搬出 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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